PVD装置に使用される様々なシャワーヘッドです。
お客様のご要望に合わせた位置、穴数、形状のシャワーヘッドをご提案いたします。
マイクロスコープやAOI自動光学検査で全ホールをチェックし、
品質管理なども徹底しております。
ヒーター機能付きシャワーヘッド等もございます。

シールドリング

関連キーワード
真空炉　蒸着　コーティング　気化　スパッタリング