こちらの精密加工ヒーターは主に半導体業界向けに製造されているヒーターです。
平面度、平行度、面粗さ等精密に加工されたプレートの間にヒーターを挟み込み形が一般的になります。
ヒーターは使用温度などにより最適なシーズヒーターや面状ヒーターを選択し、
パターン設計により温度の均一性を図ります。
真空環境で使用されるヒーターも様々な接合方法でご提案し対応致します。
ヒータープレート温度分布例
TCウェハによる測定例